نام دستگاه | دستگاه لایه نشانی(مگنترون اسپاترینگ سه کاتد) | ![]() |
نام انگلیسی | Desk Sputter Coater DST3 | |
شرکت سازنده | Nanostructured Coatings Co | |
کاربرد | این دستگاه قادر به لایه نشانی به روش کندوپاش فرکانس رادیویی (RF) و همچنین کند و پاش جریان مستقیم DC می باشد. این دستگاه شامل قسمت هایی نظیر منبع تغذیه ، محفظه لایه نشانی ،پمپ خلا ،هیتر و ... می باشد. که تارگت برای لایه نشانی درون کاتد موجود روی درب محفظه قرار می گیرد.فشار محفظه به کمک پمپ توربو مولکولار به حد مورد نظر می رسد.زیر لایه درون محفظه و به فاصله مشخص از کاتد قرار میگیرد که توسط هیتر تا دمای لازم گرم می شود.گاز مورد استفاده این دستگاه گاز آرگون می باشد. |
|
مشخصات فنی دستگاه | Nanostructured Coatings Co | |
خدمات قابل ارائه دستگاه |
|
|
موارد قابل اندازه گیری با دستگاه | مورد اندازه گیری | جامدات |
واحد اندازه گیری | انگستروم | |
دقت اندازه گیری | یک انگستروم |